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    產品名稱:XYZ直線電機滑臺
    產品概要:
    -- 直線軸XYZ納米級定位精度;
    -- 精密交叉滾柱導軌。
    -- 主體鋁合金材質
    產品精度:
    -- XY軸重復精度±100nm
    -- Z軸重復精度±200nm
    產品名稱:XYθ平臺
    產品概要:
    -- 直線軸XY+旋轉軸θ電機平臺;
    -- 小行程精密運動場合;
    產品精度:
    -- XY軸重復精度±0.5μm
    -- θ旋轉軸精度±2.5arcsec
    產品名稱:耦合平臺
    產品概要:
    -- 直線軸XYZ+旋轉軸ABC共6軸電機平臺;
    -- 適用光纖耦合;
    產品精度:
    -- XYZ軸重復精度0.3μm
    -- ABC旋轉軸重復精度±1.5arc sec
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